Исследование электронных свойств кристаллизованных анодных пленок диоксида ванадия Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена Научный руководитель: Ханин Самуил Давидович, Шадрин Евгений Борисович, д. ф-м. н. , д. ф-м. н. Наличие фазового перехода металл-полупроводник (ФПМП) в тонких пленках диоксида ванадия, сопровождающегося сильным изменением его оптических и электрических констант, создает возможность использования их в качестве основы для создания оптических ограничителей мощных световых потоков (оптических лимитеров). С практической точки зрения для надежной работы лимитера необходимо иметь возможно более узкую петлю температурного гистерезиса отражательной способности материала и значительную ее протяженность по температуре. В тоже время суммарная петля поликристаллической пленки VO 2, слагаемая из элементарных петель, соответствующих отдельным кристаллитам и распределенных по закону Гаусса, имеет большую ширину.В связи с вышесказанным в работе был опробован вариант синтеза субмикронных слоев VO 2 методом электрохимического оксидирования металлического ванадия, при этом мы использовали, во-первых, ванадиевую фольгу, а, во-вторых, тонкие пленки металлического ванадия, осажденные на проводящую германиевую подложку. В качестве электролита при анодном оксидировании использовалась уксусная кислота с добавлением водного раствора буры.Поскольку анодные оксидные пленки ванадия рентгеноаморфны, то есть обладают сильно неоднородной микроструктурой, можно было ожидать, что петли гистерезиса будут иметь значительный наклон по отношению к оси температуры. Эксперимент подтвердил это предположение. Однако оказалось, что скачок параметров в исходной анодной пленки VO 2 мал при фазовом переходе (ФП), а петля термического гистерезиса характеризуется сильной ассиметрией температурного хода нагревной и охладительной ветвей, что снижает качество работы лимитера. Кроме того установлено, что хотя ФП в аморфных пленках VO2 наблюдается, термоциклировании этих пленок вблизи температуры ФП приводит к исчезновению его экспериментальных проявлений.В этой связи полученные образцы отжигались при температуре 723 К в кислородосодержащей атмосфере, что приводило, к термической кристаллизации диоксида ванадия в анодных слоях. Использованный технологический прием позволил достигнуть характерного для поликристаллической пленки диоксида ванадия скачка параметров при ФП, при этом петли температурного гистерезиса проводимости становились практически симметричными и их протяженность по температурной шквале оставалась прежней. Эти характеристики удовлетворяют требованиям, предъявляемым материалам используемым в качестве основы оптического лимитера. В работе установлена также меньшая температурная протяженность петель температурного гистерезиса коэффициента отражения по сравнению с петлями температурного гистерезиса электрической проводимости пленок VO 2. Кроме того, обнаружена сильная зависимость формы петель от частоты колебаний синусоидального напряжения, использованного для проведения измерений проводимости.Показано, что полученные результаты могут быть объяснены на основе модели зонально-оболочечного строения зерен, согласно которой каждое зерно пленки представляет собой ядро VO 2, окруженное оболочкой из окисла V6O13, который при 340К (температуре ФПМП в диоксиде ванадия) находится в металлическом состоянии, поэтому наиболее дефектным и соответственно определяющими путь токопрохождения в продольном направлении являются межзеренные границы, это приводит к тому, что петли термического гистерезиса проводимости на постоянном токе и при низких частотах регистрации оказываются асимметричными.Различие формы оптических и электрических петель гистерезиса, в свою очередь, связано с линейностью связи коэффициента отражения пленки с концентрацией "металлической" фазы в толще полупроводниковой при приближении к Тс Электрическая же проводимость зависит от концентрации проводящей фазы пороговым образом: она обнаруживает скачок при достижении сравнительно малой критической концентрации, отвечающей эффекту протекания. |
(c) АСФ России, 2001 |